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第354章 胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙卷风

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    第354章 胡闻洲:回旋镖来得太快就像龙卷风 (第1/2页)

    两人说话的时候。

    核心专家组的众人目光,也都带着几分期许聚焦在了林决身上。

    按理说.....

    这种事情是不该就指望林决一个人来的。

    要不然的话,不显得他们没用了吗?

    但是吧......话又说回来了。

    目前为止,林教授的方案完全没毛啊!

    确实比他们提供的好太多了!

    特别是林氏函子光学变式,在测试中的表现,完全刷新了众人对EUV多层膜误差控制的认知!

    紧接着,众人便见台上的林决轻轻一笑,

    “确实。”

    闻言,陈望山不由得笑了出来。

    至于房怀年几人,则是满脸讶异。

    这小子......还真他娘是个人才啊!

    整机闭环没跑完,你也敢提前做优化方案?

    万一中间有超出预料的事情发生,那你不白干了吗?

    不过.....

    他们不知道的是,林决早已经通过胡老的手稿,在脑海中做过工程预演。

    虽然最后他推演出来的数据,会和现实数据有着一定误差。

    但却能够清晰的看到问题在哪里......

    之后。

    等整机闭关流程结束。

    只需要通过相应的数据,再进行调整的就行。

    两边同时进行。

    还能够省下一部分时间。

    当初面对胡闻洲时,他说他会让胡老看到那台能够和世界一流水平并驾的光刻机。

    所以必须争分夺秒了。

    而现在。

    整机跑完,结果出来。

    果然......

    由于映射输出端的频率太快,在高电压情况下光路产生偏振,误差也就随之增大了......

    在得到林决回答后,卢敬尧立马好奇问着,

    “用的什么方法,压频率还是降电压?亦或者通过控制曝光来解决?”

    林决轻轻一笑,当即给否了,“都不选。”

    “???”

    “???”

    “???”

    蒋墨侧过头看着他,又是好奇又是疑惑,

    “都不选?那你想干啥?”

    按照他们搞了大半辈子研究的惯性思维来讲。

    目前只能调控这三个变量,然后再根据整机环境,慢慢做进一步调整。

    林决平静开口,

    “我们花了二十多天,把误差从 1.2 压到 0.18,现在又为了高电压下的稳定性,再退回去吗!?

    我不想这样做......”

    会议室安静下来。

    所有人目光放在林决身上。

    于志明皱眉,

    “那您的意思是......”

    林决并未回答。

    只是在电脑打开一个文档,然后将把 132 路的驱动时序图调了出来。

    此时大屏幕上,无数表示着方波的红点全挤在一处。

    “你们看,132 路同时跳会如何呢?”

    他点了下鼠标,旁边弹出三行数据。

    【电源瞬时跌落:4.3%】

    【通道间串扰:2.1%】

    【镜面局部应力:增大】

    “在这种情况中,串扰和镜面局部应力增大,会导致双折射出现,然后产生偏振,出现误差。”

    蒋墨想了想,也提出想法,“那要不将电压器错开呢?”

    陈望山很快便摇了摇头,

    “不行......错开只能解决电源和串扰,解决不了应力,因为应力是叠加态,就算错开,总应力依旧存在。”

    房怀念笑道,

    “老陈说得对,这方面蒋墨你不是专家,还是别提

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