第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路 (第2/2页)
直接窥探到一条全新路径。
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“笼促配位团簇？”
众人看着屏幕上那前所未闻的名词，神情都是有发懵。
见状，林决将PPT画面切掉，关于创新思路的相关理论出现在众人眼前。
“在我的新方案中，要用到的核心理论，来自于笼腔电子势自捕理论，配位零解离稳定，库仑场可控缔合，无扩散局域反应......”
这些理论在高端功能材料，配位凝聚态领域，都是非常前沿的分支。
在座作为国内顶尖材料方面学者，对其基本都是有所涉猎。
不过在他们印象中。
像库伦可控，局域无扩散这俩理论。
以往都是用于设计储能，电响应软物质的.......
众人还是头一次看到，有人将他们用到极紫外感光成像之中来！
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接下来的一个小时里。
林决从框架上，大概跟众人讲述了下自己的思路。
不过，由于其中理论有理论颇具深度，也只有像袁泽成这般的顶级工程师，才能勉强跟上。
等到阐述完毕后。
林决目光扫了眼众人，自信开口，
“.......嗯，这套理论大概就是如此，大家可以先讨论讨论......有什么看法，等下也可以和我提。”
下方众人先是沉默了一会儿，然后，便开始了激烈的讨论。
“这套理论确实很让人惊讶，但让最后让静电作用于图案，如果工况稍微波动，到时候图形很可能全部漂移吧？
如此一来，品控照样难以保证。”
“是啊，还有长期累积电子过载怎么办？笼结构可是非常容易崩解的！”
“我怎么觉得这个想法非常惊艳啊！
而且在理论上来说，林教授的方法，基本可以做到完全根除光路污染，打破RLS制衡！
简直不要太牛逼。”
“我赞成！我们如果走和国外研发同样的道路，估计永远追不上迭代速度。
林教授想法虽然激进了一些，但却有弯道超车的希望！”
会议室里，激烈的吵闹声混作一团。
黄作平见状，在一边对林决笑道，
“林教授......看来大家都是活力满满啊。”
这样的争论从来都不是坏事。
重大的理论突破，颠覆性的技术革新，本就需要如此的淬炼才行！！！
始作俑者林决只是微微耸肩，以表无辜。
终于......
在约莫十分钟的争论后，现场氛围终于逐渐缓和。
袁泽成作为在座最有资历的工程师，此时被推出来发问，
“林......林教授，我还是有个疑虑......”
“请说。”
“笼促结构人工合成难度极高，您也清楚，只要存在少量破笼，整个EUV高能光子依旧会被打乱。
最后导致的结果，和真空污染其实并没有什么差别......”
“是的。”
林决点了点头，并未否认这套理论的缺陷。
闻言，袁泽成继续道，
“......从工程上来说，我们还没成熟的产业链......容错率太低，沉没到时候拉都拉不回来......”